108 Auto是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
主要特性
一、自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和最佳的導電噴鍍效果。
二、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
四、在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程�？赏ㄟ^數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果，
五、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。
六、可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動停止噴鍍過程。
七、數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果。
八、可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。
|
技術參數
|
|
樣品室大小
|
直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
|
|
靶材
|
Au 靶為標配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;大�。褐睆�57mm x 0.1mm厚
|
|
樣品臺
|
可以裝載12個SEM樣品座，高度可調范圍為50mm
|
|
濺射控制
|
微處理器控制，安全互鎖，可調，最大電流40mA，程序化數字控制
|
|
濺射頭
|
低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩
|
|
模擬計量
|
真空： Atm - 0.001mbar
|
|
厚度監控
(選件)
|
使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程，或使用MTM-10高分辨厚度監控儀（選件）手動終止濺射過程
|
|
控制方法
|
自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數字定時器（0－300s），自動放氣
|
|
桌上系統
|
真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統
|
銅網鍍碳制成負染色蛋白質樣品案例
|
